主动式隔振系统适用于具有高动态力且进行敏感测量和检测的机器、光刻设备、激光机、高分辨率电子显微镜和半导体工业机械。在传统空气弹簧与电动/气动调平系统的隔离效率和稳定时间不足时,使用我们的主动式隔振系统。